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      打造优质的个人防护产品

      无尘室的等级分类及应用标准

      文章出处:深圳市兴业卓辉实业有限公司 人气:-发表时间:2020-09-11 11:36:00
      1
      无尘室的等级说明 


      依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级{手机在线购彩app下载主词}、10级{手机在线购彩app下载主词}、100级、1000级、10000级、100000级{手机在线购彩app下载主词},如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸是0.5um,无尘室等级应以特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下{手机在线购彩app下载主词},密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。


      2
      无尘室等级标准 


      据查询无尘室等级标准的版本较多,于是小编就整理两个较常用的划分标准,分别是国际标准 IOS14644-1、中国标准 GB/T16292-1996,具体详情请看下表:


      空气洁净度分级标准:IOS14644-1(国际标准)


      空气洁净度等级(N)

      大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)

      0.1um

      0.2um

      0.3um

      0.5um

      1um

      5um

      ISO Class 1

      10

      2





      ISO Class 2

      100

      24

      10

      4

      ISO Class 3

      1000

      237

      102

      35

      8

      ISO Class 4

      10000

      2370

      1020

      352

      83

      ISO Class 5

      100000

      23700

      10200

      3520

      832

      29

      ISO Class 6

      1000000

      237000

      102000

      35200

      8320

      293

      ISO Class 7




      352000

      83200

      2930

      ISO Class 8




      3520000

      832000

      29300

      ISO Class 9




      35200000

      8320000

      293000

      注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平


      空气洁净度分级标准:GB/T16292-1996(中国标准)


      粒径、数值洁净度级别

      尘埃最大允许数/立方米

      微生物最大允许数

      ≥0.5um

      ≥5um

      浮游菌/立方米

      沉降菌/皿

      100级

      3500

      0

      5

      1

      10000级

      350000

      2000

      100

      3

      100000级

      3500000

      20000

      500

      10

      300000级

      10500000

      60000

      -

      15



      3
      无尘室标准分类 

      >>>>

      乱流式(Turbulent Flow):


      空气由空调箱经风管与无尘车间内的空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于无尘室等级为1,000-100,000级的{手机在线购彩app下载主词}。


      优点:构造简单{手机在线购彩app下载主词}、系统建造成本低,无尘室扩充比较容易,在某些特殊用途场所可并用无尘工作台,提高无尘车间等级。


      缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出{手机在线购彩app下载主词},易污染产品。另外若系统停止运转再激活{手机在线购彩app下载主词},欲达要求的洁净度{手机在线购彩app下载主词},需耗时相当长一段时间。


      >>>>

      层流式(Laminar):


      层流式空气气流运动成均匀的直线形,空气由覆盖率100%的过滤器进入室内{手机在线购彩app下载主词},并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于无尘室等级需求较高的环境使用{手机在线购彩app下载主词},一般其无尘室等级为Class 1~100{手机在线购彩app下载主词}。


      其型式可分为二种:

      ?无尘车间水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出{手机在线购彩app下载主词},由对边墙壁的回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般下流侧污染较严重。


      优点:构造简单,运转后短时间内即可变稳定。


      缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。


      ?无尘车间垂直层流式:房间天花板完全用ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹{手机在线购彩app下载主词},可获得较高的洁净度{手机在线购彩app下载主词},在生产中或工作人员所产生的尘??煽焖倥懦鍪彝獠⒉换嵊跋炱渌ぷ髑?。


      优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易受作业状态或作业人员所影响。

        

      缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板的吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。


      >>>>

      复合式(Mixed Type):


      复合式是将乱流式及层流式予以复合并用{手机在线购彩app下载主词},可提供局部超洁净空气{手机在线购彩app下载主词}。


      • 无尘车间洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将生产区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员的工作区与产品和机器维修予以隔离{手机在线购彩app下载主词},以避免机器维修时影响了工作及品质,超大规模集成电路生产大都采用此种型式。

        洁净隧道另有二项优点:弹性扩充容易{手机在线购彩app下载主词}、维修设备时可在维修区轻易执行。


      • 无尘车间洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离{手机在线购彩app下载主词}{手机在线购彩app下载主词},少量的送风即可得到良好的洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线最适宜使用。药品{手机在线购彩app下载主词}、食品及半导体均适用{手机在线购彩app下载主词}。


      • 无尘车间并装局部无尘室(Clean Spot):将乱流无尘室内的产品生产区的洁净度等级提高为10~1000级以上{手机在线购彩app下载主词},为生产用。  


      4
      无尘室的应用标准 
      若想检验无尘室是否达到应用标准,大家可以先从遮蔽率;风速、温湿度;压差、构成要求这四个方面考虑:


      >>>>

      遮蔽率


      无尘等级

      Air Change(次/hr)

      HEPA遮蔽率

      Class 100

      240-480

      50%-100%

      Class 1000

      17-240

      10%-35%

      Class 10000

      10

      8%-10%

      Air Change:FFU的表面积*风速*FFU数量/无尘室体积

      HEPA遮蔽率:FFU的表面积*FFU数量/无尘室面积


      >>>>

      风速、温湿度


      气流速度为:0.3-0.5m/s(60-100ft/min)

      一般温度控制范围:T=(21±2)℃

      一般湿度控制范围:(45±5)%RH


      >>>>

      压差


      在两个无尘室间合理的设计压力差应为10Pa,而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差{手机在线购彩app下载主词}。当产生这些压力差有实际困难时,维持5Pa的最小压力差是可以接受的。


      >>>>

      构成要求


      A.不会因温度变化与振动而发生裂痕

      B.不易产生微尘粒子{手机在线购彩app下载主词},且很难附着粒子

      C.吸湿性小

      D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高

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